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空气洁净度 |
空气洁净度是指空气中的含尘度，空气澡净度级别以含尘的浓度（单位体积中尘粒的个数）来划分的。建立洁净度标准，是洁净技术发展的重要标志。
世界上各国在制定自己的标准时，大都参考美国联邦标准。我国频布的《工业企业洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），其等级划分和美国联邦标准亦相一致。 |
| 美国联邦标准FS209悬浮粒子洁净度级别 |
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级别 |
级别限值大于等于个/单位体积 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5μm |
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体积单位 |
体积单位 |
体积单位 |
体积单位 |
体积单位 |
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国际单位 |
英制单位 |
(m3) (ft3) |
(m3) (ft3) |
(m3) (ft3) |
(m3) (ft3) |
(m3) (ft3) |
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M1 |
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3509.91 |
75.7 2.14 |
30.9 0.875 |
10.0 0.283 |
-- -- |
|
M1.5 |
1 |
1240 35.0 |
265 7.50 |
106 3.00 |
35.3 1.00 |
-- -- |
|
M2 |
|
3500 99.1 |
757 21.4 |
309 8.75 |
100 2.83 |
-- -- |
|
～M2.5 |
10 |
12400 350 |
2650 75.00 |
1060 30.0 |
353 10.0 |
-- -- |
|
M3 |
|
35000 991 |
7570 214 |
309 87.5 |
100 28.3 |
-- -- |
|
M3.5 |
100 |
-- -- |
26500 750 |
10600 300 |
3530 100 |
-- -- |
|
M4 |
|
-- -- |
75700 2140 |
30900 875 |
1000 283 |
-- -- |
|
M4.5 |
1000 |
-- -- |
-- -- |
-- -- |
35300 1000 |
247 7.00 |
|
M5 |
|
-- -- |
-- -- |
-- -- |
10000 2830 |
618 17.50 |
|
M5.5 |
10000 |
-- -- |
-- -- |
-- -- |
353000 10000 |
2479 70.0 |
|
M6 |
|
-- -- |
-- -- |
-- -- |
100000 28300 |
6180 175 |
|
M6.5 |
100000 |
-- -- |
-- -- |
-- -- |
3530000 100000 |
24700 700 |
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M7 |
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1000000 283000 |
61800 1750 |
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空气洁净等级 |
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等级 |
每m3(L)空气中≤0.5μm尘粒数 |
每m3(L)空气中≥0.5μm尘粒数 |
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100级 |
≤35×100(3.5) |
-------------- |
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1000级 |
≤35×1000(35) |
≤250(0.25) |
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10000级 |
≤35×10000(350) |
≤2500(2.5) |
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100000级 |
≤35×10000(3500) |
≤25000(25) |
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